配置亚微米级高精度六轴电动模组，支持端面耦合、垂直耦合和光纤光栅等耦合方式;

6寸蓝膜子母环/GelPak吸附盒自动上下料;

机器视觉定位自动扎探针，兼容DC/RF测试;

支持光光测试、光电测试、电电扫描测试;

高效快速精准的耦合找光算法和扫描测试;

定制芯片/FA/Lens工装夹具并支持快速切换，配TEC温控系统.

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支持多种不同规格AWG/MCF/PLC芯片的耦合测试;

全自动高精度多轴电动模组，全自动流程无须人为干预;

高精度涡电流传感器保证测试精度和重复性指标;

高效快速的找光耦合算法和扫描测试;

支持自动点胶(匹配液)，自动下探针等功能;

匹配各类可调激光器和偏振控制器进行多工位并行共享;

配置亚微米级高精度六轴电动模组，重复定位精度50nm;

自动加电，自动耦合最佳值，自动点胶，自动UV固化，一键运行;

电动夹爪自动夹持FAU，位置夹持力精准可控;

自动调整FAU与PIC角度;

大理石气浮隔振平台，稳定可靠.

 配置亚微米级高精度六轴电动模组重复定位精度50nm，伺服电机龙门;

自动上下料，自动耦合最佳值，自动点胶，自动UV固化，一键运行;

电动夹爪/吸嘴自动夹取透镜，位置夹持力精准可控;

双Lens可实现联动耦合;

大理石气浮隔振平台，稳定可靠