DIE 自动上下料耦合测试台

设备功能介绍 Key Features

1、6寸蓝膜子母环自动上下料单颗Die耦合测试。

2、机器视觉定位自动扎针,兼容DC/RF测试。

3、支持光光测试、光电测试、电电测试、匹配各类可调谐激光器和偏振控制器进行多工位并行共享。

4、快速的找光耦合算法和扫描测试。

5、耦合轴配置全自动高精度六轴（XYZ，θXθYθZ）电动模组，根据需求可配置双六轴或更多组合，支持平行耦合、垂直耦合等耦合方式。

6、定制芯片/FA/Lens工装夹具，配TEC温控系统。

设备性能指标 Key Performance