设备功能介绍 Key Features
1. 配置亚微米级高精度六轴电动模组,重复定位精度50nm。
2. 采用鱼骨夹具自动上下料,自动扎探针。
3. 支持前光/背光损耗、LIV测试。
4. 自动保存数据并判定产品级别。
5. 大理石气浮隔振平台,稳定可靠。
设备性能指标 Key Performance
规格 | 要求 | 单位 | 描述 |
适用产品 | COC | - | |
耦合材料 | PD,准直器 | - | |
电动轴重复定位精度 | ±0.05 ±0.003 | um ° | |
重复性 | 0.2 | dB | 同一颗物料耦合IL变化量 |
稳定性 | 0.05 | dB | 5min变化量 |
耦合找光时间 | <30 | S | |
单器件运转周期 | 5 | Min | 从上料搬运开始,直到耦合完成下料时间. |