COC自动耦合测试机

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COC自动耦合测试机

设备功能介绍 Key Features

        1. 配置亚微米级高精度六轴电动模组,重复定位精度50nm。

        2. 采用鱼骨夹具自动上下料,自动扎探针。

        3. 支持前光/背光损耗、LIV测试。

        4. 自动保存数据并判定产品级别。

        5. 大理石气浮隔振平台,稳定可靠。


     设备性能指标 Key Performance

规格                         

要求

单位             

描述

适用产品

COC

-


耦合材料

PD,准直器

-


电动轴重复定位精度

±0.05

±0.003

um

°


重复性

0.2

dB

同一颗物料耦合IL变化量

稳定性

0.05

dB

5min变化量                  

耦合找光时间

<30

S


 单器件运转周期

5

Min

从上料搬运开始,直到耦合完成下料时间.



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