设备功能介绍 Key Features
1、配置五维电动耦合模组,自动UV。
2、耦合时实时监控扫描参数(IL,WDL)等进行微调坐标。
3、支持单点测试及扫描测试可计算IL,PDL,RL,WDL等指标。
4、快速的找光耦合算法和扫描测试。
5、光谱仪支持共享多工位。
设备性能指标 Key Performance